三星半導(dǎo)體研究所最近的一份招聘通知中提到，將開(kāi)發(fā)一種透光率為92%的EUV薄膜。

　　此前報(bào)道顯示，三星電子已經(jīng)開(kāi)發(fā)出透光率高達(dá)88%的EUV薄膜，而且已經(jīng)可以大規(guī)模生產(chǎn)。這意味著這家韓國(guó)科技巨頭已經(jīng)達(dá)成上述目標(biāo)，并提出了一個(gè)新的發(fā)展路線圖，將透光率提高4個(gè)百分點(diǎn)。

　　三星電子還開(kāi)始對(duì)High-NA EUV薄膜的研究，這被稱(chēng)為下一代的EUV工藝，該工藝的開(kāi)發(fā)將基于新材料。該公司宣布將與外部研究機(jī)構(gòu)合作，開(kāi)發(fā)和評(píng)估由碳納米管和石墨烯制成的EUV薄膜。該公司還計(jì)劃挑選一些研究人員，負(fù)責(zé)為該公司自行開(kāi)發(fā)的納米石墨薄膜(NGF)設(shè)計(jì)大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)施。

　　EUV薄膜是半導(dǎo)體光刻工藝中的必備材料，它們可以作為一種覆蓋物，阻止外來(lái)物質(zhì)附著在掩模上，可以最大限度地減少生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷并延長(zhǎng)昂貴的掩模的壽命來(lái)幫助降低成本。

　　然而，由于EUV光被大多數(shù)材料吸收的特性，想要商業(yè)化很困難。盡管三星電子已經(jīng)提高了薄膜的技術(shù)水平，但專(zhuān)家們判斷將這種材料大規(guī)模量產(chǎn)的時(shí)機(jī)還未成熟。

　　三星電子的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手臺(tái)積電從2019年其已在其量產(chǎn)線上使用自己研發(fā)的EUV薄膜。這家中國(guó)臺(tái)灣代工巨頭在2021年宣布，與2019年相比，其EUV薄膜產(chǎn)能提高了20倍。